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一種寬量程高精度集成雙膜電容式壓力傳感器及制作方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.g2h0uzv.xyz
關鍵詞：
高精度集
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明涉及壓力傳感器技術領域，特指一種寬量程高精度集成雙膜電容式壓力傳感器及制作方法，包括玻璃襯底，玻璃襯底上設有淺槽一與淺槽二，淺槽一與淺槽二通過細槽連通，淺槽二中心位置設有淺槽通孔，淺槽通孔從淺槽二底面延至玻璃襯底底面，淺槽一上設有可測量低壓差的電容Ｃ１，淺槽二上設有可測量高壓差的電容Ｃ２，可測量低壓差的電容Ｃ１包括底電極板與薄壓力敏感膜，可測量高壓差的電容Ｃ２包括厚壓力敏感膜與頂電極板，淺槽通孔通過細槽與可測量低壓差的電容Ｃ１對應設置，淺槽通孔通過淺槽二與可測量高壓差的電容Ｃ２對應設置。本發明通過可測量低壓差的電容Ｃ１與可測量高壓差的電容Ｃ２分別實現了壓力在低壓段與高壓段的高精度測量。
項目階段:
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