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鈦金屬表面原位合成 TiC-DLC 復(fù)合涂層的方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.g2h0uzv.xyz
關(guān)鍵詞：
TiC-DLC 復(fù)合涂層
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開(kāi)了一種鈦金屬表面原位合成 TiC-DLC 復(fù)合涂層的方法，將 Ti 靶置于鍍膜室內(nèi)，并通入 烴類(lèi)氣體，對(duì)鍍膜室抽真空并保持 100~400°C溫度，采用電弧離子鍍使 Ti 離子從 Ti 靶蒸發(fā)出來(lái)，同時(shí) 利用電弧放電離化烴類(lèi)氣體，從而在 Ti 靶形成 TiC 摻雜的 DLC 復(fù)合涂層。本發(fā)明采用原位合成技術(shù)在 Ti 靶材表
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