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一種動磁式長行程超精密直線運動機構
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.g2h0uzv.xyz
關鍵詞：
長行程線圈
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種動磁式長行程超精密直線運動機構，包括定 子線圈組件、氣浮支承組件和永磁體動子組件，定子線圈組件包括定子氣浮導軌和電感組件；氣浮支承組件包括氣浮軸承；永磁體動子組 件包括動子基座、永磁體安裝座及永磁體組，動子基座固定安裝在氣 浮軸承上，動子基座向下設置永磁體安裝座，每個永磁體安裝座上安 裝一永磁體組，永磁體組包括多個永磁體，并且同一永磁體安裝座上 的永磁體的同一側磁場極性相同，以用于驅動永磁體組和氣浮軸承沿 定子氣浮導軌的縱向移動。本發明采用均勻布置的長行程線圈繞組作 為定子，與傳統的
項目階段:
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