微納尺度圖紋壓印模具的制作方法

先進(jìn)制造與自動化

微納尺度圖紋壓印模具的制作方法，屬于壓印模具的精細(xì)加工

方法，解決激光干涉光刻制作模具條紋尺度不夠精細(xì)，而電子束光刻

制作高精細(xì)圖形速度過慢、不適于大面積制作的問題。本發(fā)明的一種

方法，順序包括電子束光刻、一次干法刻蝕、激光干涉光刻、二次干

法刻蝕、納米壓印、微電鑄步驟；本發(fā)明的另一種方法，順序包括激

光干涉光刻、一次干法刻蝕、電子束光刻、二次干法刻蝕、納米壓印、

微電鑄步驟。本發(fā)明結(jié)合電子束光刻制作精細(xì)和激光干涉光

未應(yīng)用