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一種可調諧寬波段激光等離子體極紫外光源
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項目成果/簡介:
本發明公開了一種可調諧寬波段激光等離子體極紫外光源。包
括脈沖激光器以及設置在真空腔中的反射鏡、聚焦透鏡、鎵銦錫合金
靶材和收集鏡；工作時，所述脈沖激光器發出的激光被所述反射鏡反
射后到達所述聚焦透鏡，在所述鎵銦錫合金靶材的液面上形成聚焦光
斑，激發所述鎵銦錫合金靶材產生等離子體，等離子體輻射產生極紫
外光，極紫外光被所述收集鏡收集后用作測試光源。產生的極紫外光
在 13.X-nm 和 6.X-nm 波段均有較強輻射
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