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一種高功率大帶寬鍺硅光電探測器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.g2h0uzv.xyz
關鍵詞：
光電探測器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種高功率大帶寬鍺硅光電探測器。該探測器是
模擬光子通信系統和微波光子系統中的硅基關鍵集成光電子器件，其
特征在于包括多個并聯鍺層結構和電感。多個并聯的鍺層結構的多個
鍺層尺寸是可以不同的，以實現對寄生電阻的調控，在提高器件飽和
功率的同時保持了寄生參數不至顯著增加。同時，通過引入片上和片
外電感，實現對器件寄生電感的調控，抬升器件高頻處頻率響應，提
升器件工作帶寬。本發明提出的光電探測器采用集總電極結構
項目階段:
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