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一種納米位移執(zhí)行器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.g2h0uzv.xyz
關(guān)鍵詞：
納米位移執(zhí)行器
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明是一種納米位移執(zhí)行器，在襯底（３）的上表面依次設(shè)有氧化石墨烯薄膜（２）、薄膜上方承載面（１）構(gòu)成一個(gè)位移傳動(dòng)的承載體，其中薄膜上方承載面作為位移傳動(dòng)的承載面；在所述位移傳動(dòng)的承載體的兩端分別設(shè)有左密封腔體的密閉墻（４）、右密封腔體的密閉墻（５），在左密封腔體的密閉墻的外端設(shè)有環(huán)境氣氛輸出控制管道口（６），在右密封腔體的密閉墻的外端設(shè)有環(huán)境氣氛輸
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