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Ｓｉ基微機械懸臂梁耦合間接加熱式毫米波信號檢測器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.g2h0uzv.xyz
關鍵詞：
Ｓｉ基微機械
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明的Ｓｉ基微機械懸臂梁耦合間接加熱式毫米波信號檢測器，結構包括懸臂梁耦合結構、功率合成／分配器、間接加熱式微波功率傳感器和開關。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁，每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成，用于耦合部分待測信號，兩個懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率３５ＧＨｚ處為λ／４。功率通過輸入端口對應的ＣＰＷ信號線終端的間接加熱式微波功率傳感器進行檢測；頻率檢測通過測量兩路在中心頻率處相位差為９０度的耦合信號的合成功率實現；相位檢測通過將兩路在中心頻率處相位差為９０度的耦合信號
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