采用“電子”作為反應(yīng)試劑，以金屬[M = In, Sn, Al, Ta, Nb, Zn, Ti, Ni,等]為陽極，控制一定的陽極電極電位，分別在?－二酮（如乙酰丙酮，Hacac），醇(ROH)，或其混合溶液中電化學(xué)溶解金屬，或按照一定順序電化學(xué)溶解兩種金屬得到相應(yīng)的單金屬或者多金屬有機(jī)物。具體反應(yīng)為：M（金屬）＋ HL ＋電能 → ML （L＝OR，?－二酮如：Hacac）。

本工藝為高純度金屬有機(jī)物（MO-CVD源）開發(fā)出一種全新“綠色化學(xué)”途徑，具有如下優(yōu)勢：

（1） 原材料金屬可通過電解精煉達(dá)到很高純度(>99.99%)，從源頭保證MO-CVD源的純度要求，該技術(shù)采用陽極電極電位控制特定金屬溶解，從而進(jìn)一步控制雜質(zhì)離子。同時(shí)該技術(shù)合成的MO-CVD源可以采用常規(guī)方法進(jìn)一步提純，根據(jù)需要雜質(zhì)離子可以控制在10-9 量級(jí)以下。如采用該法制備的納米TiO2（粒徑分布窄，～5 nm左右）雜質(zhì)分析：Pb：0.6 ppm，As：0.5 ppm，Hg：0.09 ppm，F(xiàn)e：0.21 ppm。

（2） 該工藝克服了傳統(tǒng)化學(xué)方法合成MO-CVD源的缺點(diǎn)。以鈦醇鹽為例，化學(xué)法采用TiCl4 ＋ROH → Ti(OR)4,該反應(yīng)由ROH逐漸取代Cl生成Ti(OR)xCly，采用氨吸收HCl形成沉淀使反應(yīng)向右進(jìn)行，無法得到不含Cl的Ti(OR)4，很難滿足特殊電子工業(yè)對Cl雜質(zhì)要求很高的工藝要求。本技術(shù)從工藝路徑上保證了產(chǎn)品純度：Ti（金屬） ＋ ROH ＋電能 → Ti(OR)4，該過程未引入任何Cl雜質(zhì)，可以做到絕對無Cl的MO-CVD源。 

（3）該技術(shù)具有通用性。MO-CVD源屬于高附加值產(chǎn)品，市場變化快，本工藝采用的設(shè)備可以隨時(shí)通過更換不同金屬或者有機(jī)配體（含有活性氫配體），根據(jù)市場需要隨時(shí)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的轉(zhuǎn)換，在追求高利潤的同時(shí)規(guī)避市場風(fēng)險(xiǎn)，具有投資價(jià)值。工藝路線：

具體合成：1. 金屬醇鹽：如鈦醇鹽、鉭醇鹽、鈮醇鹽、銦醇鹽、錫醇鹽，銅醇鹽、鎳醇鹽等，及其穩(wěn)定的金屬醇鹽?－二酮配合物。2. ?－二酮金屬鹽化合物：如乙酰丙酮金屬鹽，乙酰丙酮鋅Zn(acac)2、乙酰丙酮鐵、乙酰丙酮銦In(acac)3、乙酰丙酮銅、乙酰丙酮鉭、乙酰丙酮鈮、乙酰丙酮錫等。3. 二元金屬醇鹽?－二酮配合物：如PbTi(OR)x（acac）y，AlTi(OR)xLy，NaTa(OR)xLy，LiTa(OR)xLy等。

 應(yīng)用范圍：高純金屬有機(jī)物可以作為MO-CVD源，制備超高純度納米金屬氧化物。同時(shí)這些金屬有機(jī)物可以有以下用途：添加劑，熱穩(wěn)定劑，催化劑，具體可用作樹脂交聯(lián)劑，樹脂硬化促進(jìn)劑，樹脂、塑料、橡膠添加劑，鐵電、壓電等氧化物薄膜、超導(dǎo)薄膜、熱反射玻璃薄膜、透明導(dǎo)電薄膜等功能薄膜材料等。