此成果主要是進(jìn)行先進(jìn)材料的微納結(jié)構(gòu)成型。利用液體在電場(chǎng)力作用下可以形成大頸縮比（噴嘴與液體射流直徑比可達(dá) 10⁶:1 ）的精細(xì)穩(wěn)定射流（納米級(jí)）特性，創(chuàng)新性提出電流體射流微納米噴印成型方法，建立了高精度二維及三維電流體射流微納米噴印成型系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了各種功能材料及復(fù)合材料高精度微結(jié)構(gòu)成型。此方法的提出與應(yīng)用實(shí)現(xiàn)了寬內(nèi)徑針頭（幾百微米）直寫高精度結(jié)構(gòu)（幾微米）的成型工藝，克服了傳統(tǒng)噴印技術(shù)依靠降低針頭內(nèi)徑尺寸來(lái)提高成型結(jié)構(gòu)精度（噴墨打印等）的難題。此方法具有成型精度高、可控性強(qiáng)、材料適應(yīng)性廣的顯著優(yōu)點(diǎn)，在先進(jìn)材料微納結(jié)構(gòu)成型方面具有巨大優(yōu)勢(shì)。在此基礎(chǔ)上，完成了高頻厚膜壓電超聲波傳感器的制作，去除了傳統(tǒng)壓電厚膜微結(jié)構(gòu)制作過程中的刻蝕工藝，提高了結(jié)構(gòu)精度，提高了材料性質(zhì)、簡(jiǎn)化了制作工藝。